





為滿足納米級(jí)電子束曝光系統(tǒng)的要求,系統(tǒng)設(shè)計(jì)了一個(gè)納米圖形發(fā)生器和數(shù)模轉(zhuǎn)換電路,并采用機(jī)控制。機(jī)通過(guò)圖形發(fā)生器和數(shù)模轉(zhuǎn)換電路去驅(qū)動(dòng)等儀器的掃描線圈,從而使電子束偏轉(zhuǎn)并控制束閘的通斷。通過(guò)可以對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣片進(jìn)行圖像采集以及掃描場(chǎng)的校正。配合精密定位的工件臺(tái),還可以實(shí)現(xiàn)曝光場(chǎng)的拼接和套刻。利用配套軟件也可以新建或?qū)攵喾N通用格式的曝光圖形。
曝照所需電子束是由既有的產(chǎn)生的電子束(離子束)提供。
電子射出后,受數(shù)千乃至數(shù)萬(wàn)伏特之加速電壓驅(qū)動(dòng)沿顯微鏡中軸向下移動(dòng),1001349818奧鈴大黃蜂國(guó)六尿素泵信譽(yù),并受中軸周圍磁透鏡作用形成聚焦電子束而對(duì)樣本表面進(jìn)行掃描與圖案刻畫。掃描方式可分為循序掃描與矢量掃描。
掃描過(guò)程中,電子束的開啟與阻斷是由電子束阻斷器所控制。電子束阻斷器通常安裝在磁透鏡組上方,其功效為產(chǎn)生一大偏轉(zhuǎn)磁場(chǎng)使電子束完全偏離中軸而無(wú)法到達(dá)樣本。
(三) 阻劑(光阻)
阻劑是轉(zhuǎn)移電子束曝照?qǐng)D案的媒介。阻劑通常是以薄膜形式均勻覆蓋于基材表面。高能電子束的照射會(huì)改變阻劑材料的特性,再經(jīng)過(guò)顯影后,曝照(負(fù)阻劑)或未曝照(正阻劑)的區(qū)域?qū)?huì)留在基材表面,顯出所設(shè)計(jì)的微影圖案,而后續(xù)的制程將可進(jìn)一步將此圖案轉(zhuǎn)移到阻劑以下的基材中。

機(jī)油壓力過(guò)低的原因可能有:A、凸輪軸軸頸與軸承配合間隙過(guò)小
B、機(jī)油泵齒輪磨損
C、機(jī)油濾清器堵塞
D、凸輪軸軸頸與軸承配合間隙過(guò)大
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電磁脈沖閥工作原理: ? ? ?膜片把電磁脈沖閥分成前、后二個(gè)氣室,1001349818奧鈴大黃蜂國(guó)六尿素泵,當(dāng)接通壓縮空氣通過(guò)節(jié)流孔進(jìn)入后天室,此時(shí)后氣室壓力將膜片緊貼閥的輸出口,電磁脈沖閥處于“關(guān)閉”狀態(tài)。脈沖噴吹控制儀電信號(hào)消失,電磁脈沖閥銜鐵復(fù)位,后氣室放氣孔關(guān)閉,后氣室壓力激巖兆升高使膜片緊貼閥出口,電磁脈沖閥又處于“關(guān)閉”狀態(tài)。
除塵器原理簡(jiǎn)介:
大家都有戴口罩的經(jīng)歷,口罩就是一種簡(jiǎn)易的過(guò)濾除塵設(shè)備明租。除塵器的除塵機(jī)理很簡(jiǎn)單,它與口罩的除塵機(jī)理一樣,是通過(guò)濾材料對(duì)煙氣中飛灰顆粒的機(jī)械攔截來(lái)實(shí)現(xiàn)的。但除此之外,先收到的飛灰顆粒在濾料表面還形成了一層穩(wěn)定的稠密的灰層(一般稱為濾餅或?yàn)V床),1001349818奧鈴大黃蜂國(guó)六尿素泵供應(yīng)商,它又起到了很好的過(guò)濾作用,特別是用編制布做濾袋的除塵器,這層濾床起到了主要的過(guò)濾作用。過(guò)濾元件。過(guò)濾元件可以由棉毛纖維、玻璃纖維或各種化學(xué)纖維經(jīng)過(guò)紡織(或)成濾料,再縫制成垂直懸掛的濾袋,不同場(chǎng)合要選用不同的濾料。在濾袋上收集到的粉塵通過(guò)周期性的機(jī)械抖動(dòng)、過(guò)濾后的煙氣反吹或壓縮空氣的脈沖反吹等途徑使布袋變形而將灰清除。
煙氣能夠通過(guò)濾袋和濾料表面所形成的濾餅(濾床)是依靠濾層兩邊的壓差—這個(gè)壓差通常稱為管板壓差d.p.(有時(shí)也稱為濾床壓差)。飛灰收集中,一個(gè)特殊的參數(shù)是過(guò)濾煙速——每分種每平方米的濾布所過(guò)濾的氣量。濾床的壓差d.p.是與煙速呈線性比例關(guān)系,因此也與煙氣流量呈線性比例關(guān)系。這個(gè)固定的比例關(guān)系系數(shù)通常稱為濾阻。按此定義,濾阻與煙氣流量無(wú)關(guān),有點(diǎn)類似于電阻的概念。我們把平均的過(guò)濾速度表示為,氣布比——它是煙氣量與整個(gè)過(guò)濾面積之比(單位用m3/m2/min表示)。這個(gè)參數(shù)在布袋除塵器的選擇和設(shè)計(jì)中是一項(xiàng)非常重要的技術(shù)指標(biāo)。



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