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氦質譜檢漏系統是一種用于檢測和定位泄漏點的高精度檢測系統。它通過利用氦氣在不同濃度下的特征響應來檢測泄漏,具有靈敏度高、檢測范圍廣、定位精度高等優(yōu)點。其主要功能包括:檢測泄漏氣體的存在、識別泄漏、定位泄漏位置、監(jiān)測泄漏量等。

氦質譜檢漏系統是一種高靈敏度的泄漏檢測設備,其原理基于帶電粒子在磁場中的偏轉以及氣體分子對電磁輻射的吸收。該系統的部件是氦離子源和質譜儀。當需要檢查的對象內部存在微小壓力時,可以使用液態(tài)惰性氣體作為示蹤劑(例如:氦氣),通過管道進入待測對象內并被稀釋到很低濃度后從密封區(qū)域中逸出形成一定的背景放散率Rb。此時可以通過測量總釋放量Ra來判斷泄露是否發(fā)生,若Ra>Rb+ΔR且ΔR足夠小時則認為發(fā)生了泄露[1]。
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