




檢漏步驟為:若步驟1和2均未檢出漏點,就要考慮各個真空泵性能的問題,首要檢查機械泵油、羅茨泵油是否缺少,家電行業(yè)氦檢漏廠商,如果泵油缺少會大大降低泵的抽氣性能,其次檢查機械泵的閥片,通過向機械泵排氣口噴吹氦氣來檢測其閥片的密封性。擴散泵油或擴散泵加熱器異常也會造成極限壓不合格。還應檢查真空計是否準確以及真空系統(tǒng)設計是否滿足技術要求。

真空檢漏向各個加熱電極、爐體水套等通水腔體內(nèi)噴吹氦氣檢查泄漏情況。若檢漏多遍后升壓率仍不合格,可以用塑料布、膠帶對的焊口、法蘭連接處、熱電偶、電極等處進行包裹罩封,然后向罩中噴入氮氣,觀察檢漏儀的漏率變化,如果緩慢上升,說明被包裹的位置存在漏點。極限壓力不合格,升壓率合格這種情況原因通常出現(xiàn)在粗抽閥到機械泵部分的各個連接管路的焊口及法蘭連接或真空泵本身性能。

氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術指標:1. 小可檢漏率:5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率顯圍:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦質(zhì)譜檢漏儀不會受到主觀因素判斷的影響;檢測的數(shù)據(jù);自動生成數(shù)據(jù)保存,可追溯數(shù)據(jù)來源。氦氣檢漏儀關鍵零部件集優(yōu)采購,保證了系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性;真空箱內(nèi)氦氣本底抑零,保證了檢漏的準確性、;


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