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沈陽東創(chuàng)貴金屬材料有限公司
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工業(yè)上大量使用的是工業(yè)純稀土金屬，較高純度的稀土金屬主要供測定物理化學(xué)性能之用。主要有四種提純方法在試驗(yàn)室中使用，即真空熔融，江蘇銀鈀靶材，真空蒸餾或升華，電遷移和區(qū)域熔煉。 稀土金屬棒在區(qū)域熔煉爐中以很慢的速度（如提純釔時為0.4毫米/分），進(jìn)行多次區(qū)熔，哪家有銀鈀靶材，對去除鐵、鋁、鎂、銅、鎳等金屬雜質(zhì)有，但對氧、氮、碳、氫無效。此外，電解精煉、區(qū)熔－電遷移聯(lián)合法提純稀土也有一定效果。
所述泡沫彈性層包含:至少三種具有不同體積電阻率的導(dǎo)電性橡膠，這三種導(dǎo)電性橡膠的體積電阻率小于約I X ο14 Ω Cm ;至少一種體積電阻率為約IXlO14Qcm或更大的絕緣橡膠；以及至少兩種導(dǎo)電性填料。
所述絕緣橡膠為選自由三元乙丙橡膠、硅橡膠和丁基橡膠構(gòu)成的組中的至少一種橡膠。根據(jù)本發(fā)明的第三方面，所述導(dǎo)電性橡膠和所述絕緣橡膠為氯醚橡膠、丁苯橡膠和三元乙丙橡膠，銀鈀靶材價格，或者為氯丁橡膠、氯醚橡膠、丁苯橡膠和三元乙丙橡膠。根據(jù)本發(fā)明的第四方面，所述絕緣橡膠的含量為橡膠成分總量的約30質(zhì)量％至約40質(zhì)量％。
鎢-鈦（W-Ti）膜以及以鎢-鈦（W-Ti）為基的合金膜是高溫合金膜，銀鈀靶材廠，具有一系列的優(yōu)良性能。鎢具有高熔點(diǎn)、高強(qiáng)度和低的熱膨脹系數(shù)等性能，W/ Ti 合金具有低的電阻系數(shù)、良好的熱穩(wěn)定性能。如各種器件都需要起到導(dǎo)電作用的金屬布線，例如Al 、Cu 和Ag 等已經(jīng)被廣泛的應(yīng)用和研究。但是布線金屬本身易 氧化、易與周圍的環(huán)境發(fā)生反應(yīng)，與介質(zhì)層的粘結(jié)性差，易擴(kuò)散進(jìn)入Si 與SiO2 等器件的襯底材料中，并且在較低的溫度下會形成金屬與Si 的化合物， 充當(dāng)了雜質(zhì)的角色，使器件的性能大幅度下降。
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