流量控制器的工作壓差范圍是個什么概念?
質量流量控制器(MFC)中設置有一個氣體流量調節(jié)閥門,渦輪流量計, 閥門能使通過控制器的流量從零調節(jié)到測量的滿量程, 在工作的過程當中, 控制器的入口和出口之間會產生一個氣壓降, 即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差低于值(0.1 MPa), 有可能控制達不到滿量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能關閉時流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時, 無論用戶工作的反應室是真空還是高壓, 應做到使MFC進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內, 并且要求氣壓要相對穩(wěn)定。
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流量控制器的穩(wěn)定控制時間
由于到達設定值后控制器可能會發(fā)生超調,所以通常制造商用到達設定值且穩(wěn)定后所需要的時間作為設備響應速度,并賦予波形振蕩幅度一個容許范圍。舉個例子, 容許范圍2%表示流量波動在設定值的2%以內即為穩(wěn)定。一般質量流量控制器的精度在0.5%~2%之間,但一些制造商卻將穩(wěn)定容許范圍擴大到10%。我們認為如果用戶要將流量控制在期望的設定值,那么其穩(wěn)定容許范圍也必須落在設備精度范圍內。如下面示波器截屏圖所示,控制器在27.6毫秒時到達了與設備精度(滿量程的1%)等同的穩(wěn)定容許范圍。
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流量控制器
使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽, 氣壓很低,渦輪流量計報價, 如何定制質量流量控制器的低壓降產品?
部分用戶使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽做氣源, 氣壓很低, 用普通MFC,渦輪流量計哪家好, 不能正常工作。這時用戶需要向供貨商特別聲明,渦輪流量計哪里有, 定制低壓降的質量流量控制器。通常可以定制工作壓差低于0.01MPa的MFC, 這時MFC的工作壓差范圍, 也會變小。
注意使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽時, 不能讓汽化物在MFC中結露, 結露會影響MFC的正常工作。為了防止結露, 可以對管路和MFC適當加溫, 但MFC的工作環(huán)境溫度通常不得超過50℃。如果用戶要MFC的工作環(huán)境溫度超過65℃以上, 需要特殊購買高溫MFC產品。
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