高真空分子泵工作原理

高真空分子泵的工作原理主要基于氣體分子的動(dòng)量傳遞，其詳細(xì)過程如下： 分子泵的部件是高速旋轉(zhuǎn)的葉片（轉(zhuǎn)子），這些葉片與定子之間形成微小的間隙。當(dāng)轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速達(dá)到每分鐘數(shù)萬轉(zhuǎn)的級(jí)別時(shí)，會(huì)產(chǎn)生強(qiáng)大的離心力場(chǎng)和牽引力場(chǎng)。此時(shí)進(jìn)入氣隙的氣體分子會(huì)與快速運(yùn)動(dòng)的葉輪發(fā)生碰撞并獲得動(dòng)量，沿著葉的螺旋槽道被加速并導(dǎo)向排氣口方向運(yùn)動(dòng)；同時(shí)受離心力的作用向四周擴(kuò)散而被壓縮并從出口排出。這一過程中會(huì)發(fā)生多次碰撞、吸附及解吸作用使得大量動(dòng)能轉(zhuǎn)化為內(nèi)能或勢(shì)能而終消耗掉從而使氣體的壓力降低達(dá)到抽氣的目的。由于多級(jí)結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)每一級(jí)都進(jìn)一步降低了系統(tǒng)的壓強(qiáng)直至實(shí)現(xiàn)所需的超高真空度通?？蛇_(dá)到10^-9Torr甚至更低水平范圍。