哪位知道如何維修愛德華分子泵？

當(dāng)出現(xiàn)警告信息“ EF”時(shí)，檢查冷卻水通道是否暢通，并用機(jī)q進(jìn)行檢查。 在再次打開愛德華分子泵控制器之前，請(qǐng)確保水路暢通。 當(dāng)出現(xiàn)其他報(bào)警信號(hào)時(shí)，嚴(yán)禁再次啟動(dòng)分子泵進(jìn)行后處理。 全文

愛德華分子泵控制器使用中發(fā)現(xiàn)油發(fā)黑，請(qǐng)問油為什么發(fā)黑？或者多長時(shí)間油才會(huì)變黑？ 原因：冷卻不良，負(fù)載太大 解決方法：檢查冷卻系統(tǒng)，檢查真空系統(tǒng) 全文

愛德華分子泵控制器低振動(dòng)：磁懸浮意味著無摩擦，因此振動(dòng)很低，此外這種特性能夠保持不變，并且不會(huì)隨零件磨損而化。 全文

愛德華分子泵控制器在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中，出現(xiàn)頻率從正常下降至一定頻率后又恢復(fù)到正常，之后又下降至一定頻率，再恢復(fù)到正常，反反復(fù)復(fù)，更換電源后現(xiàn)象仍如此，請(qǐng)問該現(xiàn)象如何解釋？ 原因：負(fù)載太大，系統(tǒng)真空度不夠 解.. 全文