大神們！麻煩回答一下：定期維修保養(yǎng)真空分子泵的方法有什么？

在半導(dǎo)體制造、精密儀器分析、科研等依賴(lài)超高/極高真空的領(lǐng)域，渦輪分子泵如同系統(tǒng)的“心臟”。其高速旋轉(zhuǎn)的精密葉輪（轉(zhuǎn)速常達(dá)數(shù)萬(wàn)轉(zhuǎn)/分鐘）通過(guò)分子牽引效應(yīng)實(shí)現(xiàn)氣體定向抽除，是獲得潔凈極限真空的設(shè)備。其技術(shù).. 全文

廣州潽拓光電科技有限光電專(zhuān)注真空設(shè)備，對(duì)于真空泵維修，真空泵保養(yǎng)，進(jìn)口真空泵維修保養(yǎng)方面經(jīng)驗(yàn)豐富、技術(shù)可靠、能迅速的為您解決各類(lèi)技術(shù)問(wèn)題。 全文

Edwards二手分子泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中，出現(xiàn)頻率從正常下降至一定頻率后又恢復(fù)到正常，之后又下降至一定頻率，再恢復(fù)到正常，反反復(fù)復(fù)，更換電源后現(xiàn)象仍如此，請(qǐng)問(wèn)該現(xiàn)象如何解釋?zhuān)?#xA;原因：負(fù)載太大，系統(tǒng)真空度不.. 全文

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