維修Edwards進口分子泵要注意什么？哪位大神能告訴我？
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  • Edwards進口分子泵每次停機后，必須清洗每個分子泵的入口，以保持其清潔，以避免不必要的損壞。
  • 當Edwards進口分子泵M2（方框2）或M7的真空度始終沒有到位時，請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。
  • 當Edwards進口分子泵未啟動時，檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當分子泵發(fā)生故障時，必須根據(jù)故障提示進行處理。
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