Varian進(jìn)口真空泵維修的方法有哪些?

Edwards進(jìn)口分子泵為何會(huì)發(fā)生半邊熱，半邊冷的現(xiàn)象？ 原因：附近有光照或其他熱源 解決方法：避免光照或熱源 全文

如果真空泵有吸入雜質(zhì)、粉塵、水分、化學(xué)物質(zhì)等潛在危險(xiǎn)，應(yīng)該在真空泵進(jìn)氣口位置加裝精密過濾器，如果雜質(zhì)、粉塵、水份量過大，必須加裝儲(chǔ)蓄罐進(jìn)行過濾，以防止粉塵以及水份化學(xué)物質(zhì)等雜質(zhì)進(jìn)入真空泵。 全文

Edwards進(jìn)口分子泵不能在大氣中打開，必須在達(dá)到10Pa時(shí)打開。 打開相應(yīng)的高壓閥以啟動(dòng)分子泵 全文

Edwards二手分子泵發(fā)生半邊熱，半邊冷的現(xiàn)象原因：附近有光照或其他熱源 解決方法：避免光照或熱源 全文