誰(shuí)能回答！Edwards真空分子泵維修的維修注意事項(xiàng)有哪些？

當(dāng)Edwards進(jìn)口分子泵未啟動(dòng)時(shí)，檢查前級(jí)泵和電磁閥是否正常工作。當(dāng)分子泵發(fā)生故障時(shí)，必須根據(jù)故障提示進(jìn)行處理。 全文

但由于牽引分子泵抽速小，密封間隙太小，工作可靠性較差，易出機(jī)械故障，而且制造困難，實(shí)際上很少應(yīng)用。后來(lái)對(duì)牽引分子泵進(jìn)行了改進(jìn)，出現(xiàn)了渦輪分子泵。 全文

當(dāng)出現(xiàn)警告信息“ EF”時(shí)，檢查冷卻水通道是否暢通，并用機(jī)q進(jìn)行檢查。 在再次打開(kāi)Edwards進(jìn)口分子泵之前，請(qǐng)確保水路暢通。 當(dāng)出現(xiàn)其他報(bào)警信號(hào)時(shí)，嚴(yán)禁再次啟動(dòng)分子泵進(jìn)行后處理。 全文

Edwards真空分子泵故障燈亮。檢查電路板設(shè)置開(kāi)關(guān)是否在R位置，此時(shí)應(yīng)在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止。如果風(fēng)扇正常，可能是分子泵電源故障。請(qǐng)聯(lián)系制造商。 全文