Edwards真空分子泵維修需要注意什么呢？大俠們，求解
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  • 檢查真空表是不是出現(xiàn)了問題，Edwards真空分子泵出口是否打開，機(jī)械泵油是否太臟，機(jī)械泵是否旋轉(zhuǎn)，系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動(dòng)刀片來判斷它是否可以旋轉(zhuǎn)。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險(xiǎn)絲被燒毀了。更換保險(xiǎn)絲或檢查是否有短路。
  • 當(dāng)Edwards真空分子泵出現(xiàn)故障無法使用時(shí)，應(yīng)暫停生產(chǎn)，并在手動(dòng)充滿空氣后更換備用分子泵。
  • 打開Edwards真空分子泵之前，必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后，必須關(guān)閉冷卻水閥。
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